Đèn diệt khuẩn cực tím có hai vạch phổ phát xạ chính: 254nm và 185nm. Tia cực tím 254nm tiêu diệt vi khuẩn bằng cách chiếu xạ DNA của vi sinh vật. Tia cực tím 185nm có thể biến O2 trong không khí thành O3 (ozone). Ozone có tác dụng oxy hóa mạnh và có thể tiêu diệt vi khuẩn một cách hiệu quả. Nhân giống và khử trùng theo đường thẳng có nhược điểm của ngõ cụt.
Trong quá trình tinh chế thủy tinh thạch anh, nếu thêm một lượng đủ nguyên tố titan (Ti), các tia cực tím đi qua nó có thể bị cắt dưới 200nm và về cơ bản không ảnh hưởng đến việc truyền tia cực tím 254nm. Kiểm soát thích hợp lượng titan được thêm vào có thể kiểm soát hiệu quả lượng bức xạ cực tím 185nm. Theo tính năng này, ba loại đèn diệt khuẩn cực tím, chẳng hạn như ozone thấp (không có ozone), ozone và ozone cao, có thể được sản xuất.
